清浄度クラス100（１立方フィート内に含まれる直径0.5ミクロン以上の塵埃100個以下を保証）およびクラス1,000、10,000から構成される面積約450㎡の本格的な施設で、太陽電池、大面積グラフェン、マイクロマシン、磁性体デバイスや窒化ガリウムパワートランジスタの開発など、最先端の研究が行われています。
半導体プロセス実習・講習会
企業・学校関係者対象（有料）
本学では開かれた大学として地域社会・産業界に貢献出来る取り組みとして、半導体技術全般の知識を習得するための技術実習・講習会を開催しています。
開催時期・応募方法などの詳細はイベント情報をご確認ください。