豊田工業大学

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文部科学省 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業グリーン電子素子・材料研究センター

グリーン電子素子・材料研究センター

2014年度発足 センター長:神谷 格

設備一覧

X線光電子分光装置X線光電子分光装置

全自動多目的X線回折装置全自動多目的X線回折装置

熱拡散率測定装置熱拡散率測定装置

AC/DC磁化率測定装置AC/DC磁化率測定装置

小型・高性能エキシマ―レーザ並びにフォトルミネッセンス(PL)マッピング装置小型・高性能エキシマ―レーザ並びにフォトルミネッセンス(PL)マッピング装置

その他設備

  • フローティング型アルゴンイオン銃
  • AC/DC磁化率測定装置
  • 半導体エッチング装置