文部科学省 私立大学戦略的研究基盤形成支援事業グリーン電子素子・材料研究センター
2014年度発足 センター長:神谷 格
設備一覧
X線光電子分光装置
全自動多目的X線回折装置
熱拡散率測定装置
AC/DC磁化率測定装置
小型・高性能エキシマ―レーザ並びにフォトルミネッセンス(PL)マッピング装置
その他設備
- フローティング型アルゴンイオン銃
- AC/DC磁化率測定装置
- 半導体エッチング装置
訪問者別
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2014年度発足 センター長:神谷 格
X線光電子分光装置
全自動多目的X線回折装置
熱拡散率測定装置
AC/DC磁化率測定装置
小型・高性能エキシマ―レーザ並びにフォトルミネッセンス(PL)マッピング装置