| 用途など | 設備の名称 | 加工内容など | |
|---|---|---|---|
| リソグラフィ | レジスト塗布およびベーキング | レジスト塗布装置 | レジストをサンプルにスピン塗布 |
| 恒温槽 | レジストのプリベーク、ポストベークなど | ||
| マスク露光 | マスクアライナー | マスクパターンをウェハに転写 | |
| 直接描画 | 電子線描画装置 | 電子線でフォトレジストに直接描画 | |
| マスクレス露光装置 | レーザー光でフォトレジストに直接描画 | ||
| 洗浄および薬品処理（表面処理、エッチングなど） | 無機ドラフト | シリコンプロセス用2台、化合物半導体用1台 | |
| 有機ドラフト | シリコンプロセス用2台、化合物半導体用1台 | ||
| 超音波洗浄器 | 無機ドラフト内にて洗浄 | ||
| シリコン表面酸化 | 酸化炉 | シリコンのプロセス用2台 パイロジェニック酸化、ドライ酸化に使用 |
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| 不純物熱拡散および合金化処理 | 拡散炉 | リンデポ、拡散用各1台、合金化処理用1台 | |
| イオン注入 | イオン注入装置 | 中電流インプラ、最大加速電圧150kV（最小25kV） イオン種：B+、P+ |
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| 薄膜の形成 | 蒸着 | 抵抗加熱蒸着装置 | 主にアルミニウムの真空蒸着 |
| 電子ビーム加熱蒸着装置 | SiO2やモリブデンなど、高融点物質の真空蒸着 | ||
| スパッタ | マグネトロンスパッタ | Cr,Ni,Cuなどを成膜（3源） | |
| CVD | 原子層堆積装置 | 化合物半導体基板にAl2O3、SiO2、SiNxなどの原子層を一層ずつ堆積 | |
| ドライエッチング | RIE装置（反応性イオンエッチング） | 酸化膜やアモルファスシリコン膜などのドライエッチング | |
| 塩素系エッチング装置 | BCl3、Cl2などのガスを用いて、化合物半導体薄膜をエッチング | ||
| 分割 | 各種の基板分割装置 | ダイサー | 回転ホイールによる各種基板の分割 |
| ダイヤモンドスクラバー | ダイヤモンドペンによるスクラブ分割（主としてシリコン用） | ||
| 基板研磨 | 研磨機 | 主にGaAs基板を研磨 | |
| グルービングマシン | シリコンウェハへの不純物拡散深さを測定 | ||
| 検査用機器 | 観察機器 | 顕微鏡 | 複数の金属顕微鏡と実態顕微鏡で写真を撮影 |
| 寸法測定 | デジタル測微計 | 平面X－Y寸法を測定 | |
| 比抵抗測定 | 比抵抗測定器 | ウェハなどのシート抵抗測定や比抵抗を測定 | |
| 膜厚、屈折率 | エリプソメータ | 酸化シリコン膜や窒化シリコン膜の膜厚や屈折率を測定 | |
| 特性測定 | ライフタイム測定器 | ウェハにレーザ光を当ててライフタイムを測定 | |
| 付帯施設その他 | 窒素ガス | 液体窒素蒸発器（固定式）、液体窒素の取り出しも可能 | |
| ガス除害 | 廃ガス除害装置 | 廃ガス（毒性ガス）の除害排気装置（屋外固定式） | |
| 洗浄水 | 超純水製造装置 | 超純水（18MΩ・cm以上）の製造（固定式） | |
| 洗浄廃水 | 廃水処理装置 | 洗浄廃水の中和凝集処理装置（固定式） | |
| ガス漏洩検知 | ガス漏洩検知器 | 特殊材料ガスや環境（酸素、水素）ガスの検知 | |
設備を利用した加工事例
| 加工名称 | 加工内容 | |
|---|---|---|
| 市販ホトセンサ－の改造 | ホトセンサーのエッチング | ［PDF］（10.7 KB） |
| シリコンウェハの酸化およびアルミ蒸着 | 熱膜流速計の試作 | ［PDF］（11.5 KB） |
| エッチング用マスクの形成とエッチング | エッチングマスク製作 | ［PDF］（11.2 KB） |
| 高分子樹脂（ポリアニリン）のエッチング | 石英ガラス基板上 | ［PDF］（9.9 KB） |
| シリコン基板の異方性エッチング加工 | 触覚センサーの試作 | ［PDF］（11.6 KB） |
| アルミ蒸着およびリフトオフによる段差形成 | 表面あらさ校正用標準試料用 | ［PDF］（17.9 KB） |
| 金属板面の加工 | 凸状のライン＆スペース作成 | ［PDF］（12.0 KB） |
| ガラス基板のエッチング | 浮上スライダーの試作 | ［PDF］（12.0 KB） |
| ガラス基板のエッチング | 破壊試験試料の試作 | ［PDF］（10.1 KB） |
| ガラスマスクの作成 | 格子状パターンの形成 | ［PDF］（11.8 KB） |
| ダイシング加工 | 各種基板の格子状切断 | ［PDF］（19.4 KB） |