施設の特色
- フレキシビリティの高さ
クリーン度の変更、研究設備等の配置替え等に対し柔軟な対応が可能です。 - 省エネルギー化が可能
省エネルギー運転の工夫も盛りこんでおり、省エネルギー化に関する実験等も可能です。 - 安全性の高さ
有害なガスの除害や漏洩監視、廃液処理施設の設置等、クリーンルーム内の安全性やクリーンルーム外の環境保全にも十分配慮しています。
共同利用クリーンルーム内 設備配置図
［露光などリソグラフィ室（クラス100）］
- レジスト塗布装置
- 電子線描画装置
- マスクレス描画装置
- マスクアライナ
［炉室］
- 縦型拡散炉
［酸化・拡散炉室（クラス10,000）］
- 横型拡散炉
- イオン注入装置
- ウェハDC測定装置
- 四探針比抵抗計
- エリプソメータ
- 光干渉膜厚計
- 表面粗さ計（段差測定）
- 高速熱処理装置
［スパッタ・蒸着など成膜・加工室（クラス10,000）］
- ライフタイム測定装置
- 電子ビーム蒸着装置
- 抵抗加熱蒸着装置
- 深堀イオンエッチング装置
- UVドライクリーナ
- 反応性イオンエッチング装置
- スパッタ装置
［エッチングなどドラフト・洗浄室（クラス1,000）］
- 洗浄･エッチングドラフト
- 洗浄･エッチングドラフト（化合物系）
［半導体・グラフェン成長など気相プロセス室（クラス10,000）］
- 熱化学気相成膜装置
- プラズマ化学気相成膜装置
- 常圧化学気相成膜装置
- 塩素系エッチング装置
- 原子層堆積装置
- 化学ビームエピタキシー装置
- 熱化学気相成膜装置
- 複合化学気相成膜装置
- 水素精製装置
付帯設備
メンテナンスルーム、搬入室、事務室、更衣室、倉庫、エアシャワー